成
成
成
成
度
度
度
度
研
究
報
告
大
分
県
産
業
科
学
技
術
セ ン タ
大分県産業科学技術
大分県産業科学技術
大分県産業科学技術
大分県産業科学技術センタ
センタ
センタ
センタ
成
成
成
成
度
度
度
度
目次
目次
目次
目次
―
―
―
― デザイン
デザイン
デザイン
デザイン―
―
―
―
.
.
.
.開発支援事業
開発支援事業
開発支援事業 (
開発支援事業
(
(
(ベンチ
ベンチ
ベンチ
ベンチ
ー総合支援事業
ー
ー
ー
総合支援事業
総合支援事業
総合支援事業)
)
) 報告
)
報告
報告
報告 ···
―
商品企画ス
ッ
ッ
と,
ッ
ン商品化
の取
組みについて―
佐藤幸志郎
坂本晃
濱名直美
―
―
―
―加工
加工
加工 ―
加工
―
―
―
.
.
.
.セ
セ
セ
セ
ッ
ッ
ッ
ッ
ス の
ス
ス
ス
の
の
の高精度
高精度
高精度
高精度
削加工技術
削加工技術
削加工技術
削加工技術 ···
―ベ
磁気特性計測用Hコ
巻枠の加工―
水江宏
大塚裕俊
重光和夫
相原茂
.
.
.
.ワイ
ワイ
ワイ
ワイ
放電加工
放電加工による
放電加工
放電加工
による
による
による
イ
イ
イ
イ
ロ
ロ 5()
ロ
ロ
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5()ド
5()
ド
ド
ド
の
の
の
の製作
製作と
製作
製作
と
と
と石英
石英
石英
石英
ス
ス
ス
スへの
への穴加工
への
への
穴加工
穴加工
穴加工
第
第
第
第2
2
2
2 報
報
報
報
···
水江宏
大西修
鬼鞍宏猷
城門
人
.
.
.
.機上計測
機上計測 を
機上計測
機上計測
を
を
を用
用
用 いた
用
いた
いた
いた超精密金型部品
超精密金型部品
超精密金型部品
超精密金型部品の
の 高効率
の
の
高効率
高効率
高効率
削加工技術
削加工技術
削加工技術
削加工技術の
の
の
の 研究
研究
研究
研究 ···
―
ニン
センタの機上計測機能の開発
第2報
―
大塚裕俊
水江宏
秋国元
嶽正好
丸山祐治
.
.
.
.
ネシウ
ネシウ
ネシウ
ネシウ
合金
合金
合金
合金の
の エンド
の
の
エンド
エンド
エンド
加工
加工 に
加工
加工
に関
に
に
関
関する
関
する
する研究
する
研究
研究
研究
第 4
第
第
第
4
4
4報
報
報
報
···
―多軸加工に
け
多刃
ン
加工面の高精度化―
大塚裕俊
.
.
.
.18I
18I
18I製造
18I
製造
製造
製造
イン用
イン
イン
イン
用
用
用 12
12
12
12 インチ
インチ軽量
インチ
インチ
軽量
軽量 ウエハー
軽量
ウエハー
ウエハー
ウエハー
ン
ン
ン
ン
の
の
の
の開発
開発
開発
開発 ···
清水慎吾
大塚裕俊
坂本憲一朗
―
―
―
―金属材料
金属材料
金属材料
金属材料―
―
―
―
.
.
.
.各種難燃性
各種難燃性
各種難燃性
各種難燃性
ネシウ
ネシウ
ネシウ
ネシウ
合金鋳造材の
合金鋳造材
合金鋳造材
合金鋳造材
の
の
の材料特性
材料特性
材料特性
材料特性 ···
―難燃性
ネ
合金の溶解
鋳造技術の高度化に関す
研究―
園
正樹
高橋芳朗
宮原広郁
―化学
化学
化学
化学
環境
環境
環境
環境―
―
―
―
.
.
.
.高効率太陽電池
高効率太陽電池
高効率太陽電池の
高効率太陽電池
の
の
の開発
開発
開発
開発 ···
―
コン基板洗浄の解析―
江
善昭
安部ゆ
二宮信治
.
.
.
.油
油 の
油
油
の
の微生物
の
微生物
微生物
微生物
解処理技術 の
解処理技術
解処理技術
解処理技術
の
の
の一般化
一般化に
一般化
一般化
に
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に
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する 研究
する
する
研究
研究
研究
その
その
その
その
···
―
―
―
―食品
食品
食品 ―
食品
―
―
―
.
.
.
. 地域資源
地域資源
地域資源を
地域資源
を
を
を 活用
活用
活用
活用した
した
した
した新規調味料
新規調味料に
新規調味料
新規調味料
に
に 関
に
関
関する
関
する
する 調査研究
する
調査研究
調査研究
調査研究 ···
水江智子
樋
宣英
山本展久
後藤優治
.
.
.
. 原料果実
原料果実の
原料果実
原料果実
の
の
の 品種
品種
品種,
品種
,
,
, 採取時期
採取時期
採取時期
採取時期と
と ウ
と
と
ウ
ウ
ウ
ー
ー
ー
ー
の
の
の
の品質
品質
品質
品質 ···
廣瀬正純
堀
元司
.
.
.
. 青果物
青果物
青果物 の
青果物
の
の
の流通技術
流通技術
流通技術
流通技術 に
に関
に
に
関
関
関 する
する
する
する研究
研究
研究
研究 ···
―積算温度指標によ
コ
チ
ン評価
第1報
―
朝来壮一
.
.
.
. 青果物
青果物
青果物 の
青果物
の
の
の流通技術
流通技術
流通技術
流通技術 に
に関
に
に
関
関
関 する
する
する
する研究
研究
研究
研究 ···
―各種
法によ
青果物
包装のガス透過性
第1報
―
成 度 研究報告 大分県産業科学技術センター
開 発 支援 事 業
開 発 支援 事 業
開 発 支援 事 業
開 発 支援 事 業
ベンチ
ベンチ
ベンチ
ベンチ
総 合支 援 事業
総 合支 援 事業
総 合支 援 事業
総 合支 援 事業
報告
報告
報告
報告
― ――
― 商 品 企 画商 品 企 画商 品 企 画商 品 企 画 アアアア ,,,, イ ンイ ンイ ンイ ン 商 品 化商 品 化商 品 化商 品 化 取取取取 組組組組 いいいい ――――
佐藤 幸志 郎 坂 本 濱 直 美 製 品 開 発 支 援 担 当
① ①①
① , , , , zzzz
K K
要 旨
商 品 開 発 取 組 大 県 内 企 業 対 , 開 発 川 川 各 段 い , 当 担 当 外 部 ア イ 連 携 支 援 応 開 発 支 援 実 施 い 本 事 業 い , 川 支 援 5 社 商 品 企 画 推 進 , 川 支 援 3社 設 計 や 試 作 等 開 発 支 援 推 進 支 援 .
1. じ めに
当 ン タ 製 品 開 発 支 援 担 当 様 々 手 法 用 い , 工 業 製 品 , 工 芸 品 , 農 水 産 加 工 品 等 多 岐 わ 県 内 企 業 商 品 開 発 市 場 導 入 支 援 い . 支 援 対 象 企 業 業 種 , 市 場 , 開 発 期 間 , 企 画 能 力 , 開 発 技 術 力 等 経 営 環 境 や 技 術 ベ 様 々
異 , 支 援 対 象 応 適 対 応 求 い .
本 事 業 , 商 品 開 発 工 程 川 企 画 川 , イ ン 実 務 大 く 類 , 企 画 能 力 向 必 要 企 業 向 商 品 企 画商 品 企 画商 品 企 画商 品 企 画 アアアア , 企 画 能 力 高 い イン 展 開 や タ イ 製 作
イ ン 実 務 能 力 向 必 要 企 業 向 イ ン
イ ンイ ン
イ ン 商 品 化商 品 化商 品 化商 品 化 , 企 業 キ タ 商 品 開
発 チ 適 支 援 実 施 .
県 内 企 業 商 品 開 発 川 川 各 段 い , 段 応 効 果 的 開 発 手 法 市 場 導 入 手 法 支 援 事 , 市 場 競 力 あ 商 品 創 出 ,
市 場 競 力 あ 商 品 生 出 事 イン
経 営 資 源 企 業 育 成 目 的 い .
2. 支 援手 法 2.1 商 品 企 画 ス ッ プアップ
開 発 流 市 場 析 , 経 営 環 境 析 , 商 品 企 画 支 援 必 要 企 業 対 , 外 部 ア イ イ ン ン タ ン や タ 等 当 ン タ 製 品 開 発 支 援 担 当 企 業 派 遣 , 調 査 析 ア イ ア 発 想 等 共 作 業 企 画 手 法 技 術 導 入 支 援
.
手法 ○県内 新商品を開発し う し い 企業を対象 商品企画書を公募 ○ ンタ 製品開発支援担当 選定さ 各社毎 企業を 巻く経
営環境や支援ニ をヒ ン し 整理
○ ンコン タン マ ッタ ,企画 市場性,開 発 ロ ,市場 入手法 観点 個別指 を実施し ,売
商品 ンニン 能力 習得を支援す
○個別指 実施後 ,製品開発支援担当 支援 各社毎 商品企画 を ッ ュ ッ し 完成させ
対象 商品開発を行 い , しく 今後行うこ を予定し い 県内企業, 農水産物加工団体等を対象 公募し,5社以内を選定
期間 単年度, バ 個別指 回 書面指 ,現場指 各 回 , ンタ 職員 商品企画書作成指 複数回
バ 大学,中 企業大学校等 商品開発 関わ 授業経験 あ ンコン タン ,マ ッタ を選定 ○ イ ルタ 馬場 了 氏 東京都 (株) 代表 締役
2.2 グッ イン 商 品 化 ポー
成 度 研究報告 大分県産業科学技術センター
,優 機 能 性 , 意 匠 , ン イ 持 品 質 高 い 商 品 開 発 イ ン 提 案 力 い
ン 足 い 企 業 対 , 支 援
対 応 専 門 ア イ 当 ン タ 製 品
開 発 支 援 担 当 派 遣 共 開 発 行 い , 市 場 性 高 く高 品 質 商 品 創 造 支 援 .
手法 ○県内 新商品を企画し い 企業を対象 商品企画を公募し,有識者 構成さ 商品化企画選定委員会 選定
○選定さ 企業内 ,経営者や工場長 開発実務担当者 参加 す 商品開発 ロ ェ 会議を設置す
○企業 属す 産業分 専門 バ 県内ま 近県, 回程 度 派遣 ,製品開発支援担当を複数回派遣し,商品開発 け
展開や図面化,試作等 ン作業実務を企業 共 実施 し,商品化を前提 し 試作品を完成させ
対象 新規性 市場性 高い商品企画を作成し ,県内企業や農水産物加工団 体を公募 社程度を採択
期間 単年度, バ ンタ 職員 商品開発 ロ ェ 会議
複数回 バ 個別指 回
バ 企業支援ニ 対応し 専門分 バ
3. 支 援内 容 3.1 商 品 企 画 ス ッ プアップ
成 ~ 期 間 中 ,当 ン タ 製
品 開 発 支 援 担 当 対 象 企 業 ~ 派 遣 ,事 業 ア イ 支 援 元 , 記 ~ 企 画 作 成 開 発
定 着 支 援 .
株式会社 A 大分市 機械器具製造業 有限会社 B 日田市 食品製造業 株式会社 ( 佐伯市 印刷製造業 株式会社 ) 大分市 印刷製造業
社会福祉法人 E 大分市 障 い者就労支援施設
企業を まく開発環境 分析作業
発想 開発 マ 設定作業
発想 商品仕様 設定作業
評価検討 商品企画作成
支 援 い 中 心 ,選 定 各 社 毎 企
業 取 巻 く 開 発 環 境 析 作 業 あ , 企 業 対 ア ン 基 い 実 施 .
ア ン 企 業 側 経 営 資 源 開 発 力 , 生 産 力 , 営 業 販 売 力 , 技 術 , 知 財 等 確 あ , ア
ン 結 果 基 い 事 業 支 援 効 果 企 画 開 発 定 着 ,優 良 企 画 完 成 , 企 画 市 場 化 可 能 性 担 当 内 部 析 検 討 .
, 本 事 業 全 体 , 限 企 業 経 営 資 源 顧 客 対 集 約 ,効 率 的 顧 客 満 足 達 成 目 的 , 商 品 開 発 顧 客 要 素 技 術 製 品 要 素 流 通 販 売 要 素 3 要 素 類 取 組
い .
顧 客 要 素 析 作 業 , 社 会 や 消 費 動 向 関 情 報 い , 国 や 民 間 ン タ ン 資 料 , 新 聞 雑 , 等 収 集 , 社 会 動 向 , 経 済 動 向 , 産 業 構 造 , 環 境 意 識 ,生 活 者 意 識 , 消 費 動 向 7要 素
類 整 理 , 今 後 測 や , 対 象 企 業 や 今 回
開 発 え 影 響 検 討 .
技 術 製 品 要 素 析 ,対 象 企 業 売 や ア 推 移 , 自 社 点 検 行 い, 企 業 現 状 様 々 側 面 把 握 , 強 弱 明 確 作 業 行 い, 企 業 将 来 像 方 向 性 伸 ば べ 検 討 . 具 体 的 , 過 去 5 間 会 社 売 全 体 及 び 製 品 群 別 推 移 観 察 , 理 由 推 測 等 行 . あ わ せ , 自 社 商 品 業 界 ア い
, 製 造 者 団 体 広 報 タ等 推 定 行 . , 自 社 人 材 設 備 資 金 技 術 情 報 5 要 素 観
点 眺 , 強 弱 い 点 検
, 企 業 ア ン タン 中 核 的 推 進 能 力 や,
外 部 頼 得 い要 素 等 明 確 .
次 , 流 通 販 売 要 素 い , 社 新 商 品 開 発 動 向 や 業 界 把 握 作 業 行 い, 目 的 開 発 イ ン タ や , 企 業 今 後 伸 ば 方 向 い
,検 討 行 .
記 開 発 環 境 析 進 中 , 望 市 場
期 待 開 発 対 象 浮 び ,
ン ン や イン ン 等 手 法 用 い ,
機 能 や 機 構 ア イ ア 検 討 様 取 ,商 品 企 画 立 案 行 .
3.2 グッ イン 商 品 化 ポー
成 ~ 期 間 中 , 当 ンタ
製 品 開 発 支 援 担 当 対 象 企 業 , , 派 遣 ,事 業 ア
イ 支 援 元 , 記 ~ イ ン 開 発
成 度 研究報告 大分県産業科学技術センター
株式会社 A 大分市 機械器具製造業 有限会社 B 日田市 食品製造業 株式会社 F 大分市 金属製品製造業 ※A,B 社 商品企画 ッ ッ 事業支援
企業 商品企画 提案をベ し ,企業 担当者
ンタ 職員及び各分 く 専門家 開発作業実務
い カッ ョンを ロ ェ 会議を開催
企画を商品 す 商品化作業 ン,設計,生産
を役割分担し 実施
ン,設計,生産等 作業 い 企業自社技術 け
対応 い場合 ,外部企業へ 委託 い 委託先情
報 提供や 発注調整 ソ 支援を実施
4. まとめ
本 事 業 成 度 3ヶ , 県
内 企 業 経 営 資 源 イン 要 性 , 特 売 商 品 作 出 市 場 基 い 開 発 等 ,
イ ン ワ 手 法 効 性 い 広 く 理 解 せ 事 . , 企 業 内 商 品 開 発 外 部 イ
派 遣 , 企 業 単 独 生 出 困 難 市 場 競 力 高 い 商 品 ア イ ア や 試 作 多 く 誕 生 せ
, 対 象 企 業 経 営 資 源 様 々 イン 手 法 導 入 せ 事 .
, 事 業 終 了 後 い , 企 業 独 自 取 組
中 心 , 当 ン タ 支 援 通 常
技 術 支 援 移 行 , 市 場 導 入 部 い 十 支 援 実 施 い 状 況 想 定 . 今 後 , 県 や 公 益 法 人 実 施 販 売 促 進 事 業 連 携 事 や , 本
事 業 新 い支 援 策 ュ , ,
, 広 告 , 展 示 会 出 展 , W 製 作 等 , 商 品 事 業 化 作 業 等 追 加 検 討 , 商 品 開 発 初 期 市 場 導 入 至 一 貫 企 業 支 援 可 能 う ,
商 品 創 出 県 内 支 援 機 関 実 施 支 援 ュ 間 機 的 連 携 作 , 商 品 創 出 事 業 化
総 合 的 支 援 い い 考 え い . ,事 業 実 施 必 要 様 々 商 品 開 発 手 法 い , 文 献 資 料 や 過 去 商 品 開 発 支 援 事 例 調 査 研 究 , 作 業 再 利 用 う 整 備 進
, 当 ン タ 商 品 開 発 支 援 精 度 高 い い.
成 度 研究報告 大分県産業科学技術センター
セ
ッ
セ
ッ
セ
ッ
セ
ッ
高 精 度 切 削 加
高 精 度 切 削 加
高 精 度 切 削 加
高 精 度 切 削 加
技 術
技 術
技 術
技 術
―― ―
― ベベベベ 磁 気 特 性 計 測 用磁 気 特 性 計 測 用磁 気 特 性 計 測 用磁 気 特 性 計 測 用 ココココ 巻 枠巻 枠巻 枠巻 枠 加加加加 ―― ――
水 江 宏 大 塚 裕 俊 重 和 夫 相 原 茂
機 械 金 属 担 当 西 日 本 電 線 株 式 会 社
P
e c i
i
P
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P
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i
P
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i
w w w w
N N &
要 旨
入 隅 部 形 状 精 度 求 磁 気 計 測 用 セ ッ 製 コ 巻 枠 切 削 加 , 市 販 ン 用 い 加 実 験 行 結 果 , 具 び 切 削 条 件 最 適 化 , 削 残 幅 約 µ 抑 制
.
1 . じ め に
ベ 磁 気 特 性 計 測 , 被 覆 銅 線 型 巻 線 コ 用 い . 微 範 囲 計 測 , コ 巻 枠 型 化 被 覆 銅 線 細 線 化 必 要 あ . 各 構 成 部 品 寸 法 形 状 高 精 度 化 求 , 特 巻 線 始 端 部 終 端 部 巻 乱 抑 え コ 巻 枠 入 隅 部 以 降 コ い う 形 状 精 度 向 求
い .
本 テ , セ ッ 脆 性 材 料 対 象 , 軸 回 転 型 切 削 具 使 用 コ 加
可 能 性 検 証 . 現 状 , コ 約 5 µ 程 度 あ , 量 産 可 能 コ 被 覆 銅 線 径 約 µ 程 度 い , コ 5 µ 以 目 標 .
2 . 実 験 方 法
加 機 安 田 業 製 精 密 立 型 高 ン セ ン タ 使 用 . 被 削 材 株
テ ッ セ ッ 製 ホ ベ 使 用 . 被 削 材 機 械 的 特 性 示 . ホ ベ 電 気 絶 縁 性 , 断 熱 性 優 , 半 体 や 液 晶 製 造 部 品 使 用 緻 密 セ ッ 材 料 あ , 超 硬 具 使 用 容 易 切 削 加 特 性 持 .
具 市 販 超 硬 合 金 製 ン 使 用 . , 日 進 具 製 コ テ ン 無 特 注 品 .
使 用 加 機
ホ ベ 機 械 的 特 性 密 度
曲 強 圧 縮 強 硬 度
使 用 ン 具
記 号
使 用 具 メ カ 型 式
直 径 刃 数
刃 長 日 進 具 製
コ テ ッ 日 進 具 製
ノ ン コ 菱 テ 製
成 度 研究報告 大分県産業科学技術センター
具 突 出 量 , コ ッ ッ 端 面 約
. 使 用 加 機 主 金 属 加 用 あ , セ ッ 加 粉 加 機 摺 動 面 痛 い う 浸 漬 加 , 加 粉 含 加 液 機 流 失 い う 努
.
具 摩 耗 び 加 形 状 観 察 , コ ン 製 測 定 顕 微 鏡 使 用 .
幅 被 削 材 横 断 溝 形 状 形 成 , 毎 方 向 切 込 溝 形 状 深 く . 往 復 加 く , 片 方 向 繰 返 加 . 切 削 条 件 示 . 一 刃 あ 送 切 取 厚 µ 一 定 切 削 度 切 込 変 化 .
総 除 去 体 積 , , × × 直 方 体 形 状 素 材 コ 形 状 削 出 場 合 想 定 .
切 削 条 件 切 削 条 件 番 号
切 削 度 ← 回 転 数 ←
刃 あ 送 µ ← ← ←
送 ←
切 込 µ ← ←
3 . 実 験 結 果
切 削 実 験 立 , テ ン タ 用 い 切 削 具 ャ ン 部 回 転 ぶ 測 定 結 果 , µ 以 内 あ
確 認 .
具 ャ ッ く , 面 取 加 施 い . 従 刃 部 摩 耗 製 品 ば 少 い
考 え , 基 準 具 切 削 条 件 ~ べ 実 施 . 結 果 踏 え , ャ ッ い わ ゆ ン カ 具 あ 具 切 削 加 実 験 行 い .
加 前 刃 状 態 示 . い 具 非 常 ャ 切 刃 稜 形 成 い 確 認 .
具 び 切 削 条 件 い 削 残 幅 い
示 . 具 削 残 幅 示 . 具 , 刃 面 取 い 形 状 あ , 削 残 幅 , 摩 耗 削 残 幅 , 外 周 逃 角 影 響 考 慮
削 残 幅 種 類 定 義 い . , 示 , 同 切 削 条 件 値 表 示
い . い 方 削 残 幅 , 大 い 値 右 削 残 幅 あ .
具 比 較 い , 除 去 体 積 後 , 切 削 条 件 最 削 残 幅 少 い , 除 去 体 積
加 進 切 削 条 件 削 残 幅 急 激 大 く
0 5 10 15 20
A 1 A 2 A 3 A 4 B 2 C 2
削
残
幅
m
切削条件
除去体積 3mm3 除去体積 9mm3
切 削 条 件 削 残 幅 具 摩 耗 評 価
削
残
幅 削
残
幅
浸 漬 加 様 子
最 目 盛 最最 目 盛目 盛 最 目 盛 ==== µµµµ 具
具 具 具
具 具 具 具
具 具具 具
成 度 研究報告 大分県産業科学技術センター
. 一 方 , 切 削 条 件 場 合 , 除 去 体 積 加 進 削 残 幅 拡 大 . 具 , 切 削 条 件 い 変 更 結 果 , 具 用 い 除 去 体 積 い , 削 残 幅 約 µ 抑 制
.
, コ テ ッ 具 条 件 , , , 初 期 摩 耗 大 い , 除 去 体 積 , 摩 耗 ほ
増 大 い い . 一 方 ノ ン コ 具 条 件 , 初 期 摩 耗 い , 除 去 体 積 大 く 従 い 摩 耗
増 大 い .
条 件 び , 除 去 体 積 後 具 摩 耗 状 態 加 形 状 示 . 具 コ
ン チ ッ ン 形 態 呈 広 範 囲 摩 耗 生 い . コ テ ン 思 わ 摩 耗 確 認
. く い 面 面 取 部 外 周 付 近 チ ッ ン 状 摩 耗 確 認 . 一 方 , 具 , 端 部 い 摩 耗 進 行 , 加 形 状 削 残 幅 く , 高 品 位 形 状 い .
4 . ま と め
具 び 切 削 条 件 選 定 , 削 残 幅 約 µ 抑 制 .
コ テ ッ 具 , 加 初 期 時 コ テ ン
摩 耗 大 く 進 行 , 後 摩 耗 量 あ 増 大 い . 一 方 , ノ ン コ 具 , 加 初 期 時 摩 耗 い , 切 削 長 比 例 徐 々 摩 耗 量 増 大 .
角 コ 巻 枠 溝 幅 あ , 直 径 具 使 用 , テ ッ あ 切 込 大 く , 除 去 体 積 確 保 切 削 長 短 く , 実 際 加 削 残 幅
抑 制 可 能 性 あ .
摩 耗 状 態 び 加 形 状
最 目 盛 最最 目 盛目 盛 最 目 盛 ==== µµµµ
く い 面 外 周 逃 面 加 形 状 く い 面
面 取 部
外 周 逃 角 影 響 考 慮 削 残 幅 摩 耗 部
摩 耗 削 残 幅 外 周 刃
底 刃
被 削 材
成 度 研究報告 大分県産業科学技術センター
ワ
ヤ
ワ
ヤ
ワ
ヤ
ワ
ヤ 放 電 加 工
放 電 加 工
放 電 加 工
放 電 加 工
マ
マ
マ
マ
ロ
ロ
ロ
ロ
製 作
製 作
製 作
製 作
石 英
石 英
石 英
石 英
へ
へ
へ
へ
穴 加 工
穴 加 工
穴 加 工
穴 加 工
第
第
第
第
報
報
報
報
水 江 宏 大 西 修 鬼 鞍 宏 猷 城 門 由 人
機 械 金 属 担 当 九 州 大 学 財 大 県 産 業 創 造 機 構
K A K
K
要 旨
脆 性 材 料 へ 効 率 的 穴 加 工 を 目 的 , 焼 結 ヤ モ ン を 刃 先 有 ッ コ 部 形 状 を 改 良
, 石 英 穴 あけ 加 工 実 験 を 行 っ た . 従 来 形 状 比 較 穴 入 口 部 ッ ン を 大 幅 減 少
さ こ た .
1 . 緒 言
脆 性 材 料 を 高 精 度 加 工 場 合 , 穴 入 口 ッ ン
問 題 避 け 通 い . 第 報 加 工 実 験 い
, ゼ 部 刃 部 く 違 い や , 送 小 さ い
ほ ッ ン 抑 え 傾 向 判 明 , 工 具 命
や 穴 内 壁 面 粗 さ 結 果 , 十 実 用 値
あ った .
こ , 本 報 穴 側 壁 面 近 傍 を 削 取 外 周 コ
刃 部 形 状 着 目 , 面 取 形 状 た 面 取 形
状 , 刃 稜 ン ッ を 接 続 た
を 製 作 , 同 様 穴 加 工 実 験 を 行 う . こ , 被 削 材
取 厚 さ を 小 さ く , わ ち 見 け 送 を 小 さ く
, 削 延 性 モ 化 を 図 こ 穴 入 口 部 ッ
ン 抑 制 を 目 指 .
2 . 実 験 方 法
放 電 条 件 や 使 用 た 加 工 機 , 材 料 等 , 以
第 報 同 あ . 素 材 焼 結 ヤ モ ン を ロ
付 け た 旋 削 用 ロ ッ プ 住 友 電 工製
, A , 均 粒 µ , ワ ヤ 放
電 加 工 機 角 度 割 出 機 能 付 放 電 用 軸 加 工 装 置 ワ
ヤ ッ 放 電 加 工 機 菱 電 機 製 , 回 路 付
属 あ .
製 作 た 面 取 形 状 を 有 ッ を
示 .
第 報 使 用 た 同 形 状 刃 部 ,
全 体 直 う ち 中 心 部 直 部
あ , 残 片 側 面 取 形 状
刃 . 通 常 刃 部 ッ ン 生 た 場
合 , 面 取 形 状 刃 ッ ン 発 生 部 を 削
穴 を 拡 大 こ . た っ 面 取 形 状
刃 加 工 , 理 想 的 ッ ン 発 生 っ た
場 合 , 半 方 向 ッ ン 量 を 最 大 µ 減 少 さ
こ 予 想 .
た , 多 数 穴 加 工 時 最 摩 耗 大 っ た 外 周 コ
部 を 面 取 い た , 工 具 摩 耗 好 影 響 期
.
成 度 研究報告 大分県産業科学技術センター
通 常 刃 部 面 取 部 被 削 材 取 厚 さ を
示 . 面取 形状 を 使用 送
µ 加 工 た 場 合 , 溝 面 け 通 常
刃 部 被 削 材 取 厚 さ µ , 面 取
刃 部 取 厚 さ µ , 取 厚 さ 比
8 あ , 面 取 刃 部 取 厚 さ 通 常
刃 部 約 .
面 取 形 状 , 穴 入 口 ッ ン 影 響 強
い 思 わ 外 周 コ 部 を 面 取 こ , 刃 あ た
取 厚 さ を 小 さ く 削 延 性 モ 化 を 期
あ .
3 . 実 験 結 果 と 考 察
面 取 を 施 た を 示 . こ 製 作 た
比 較 , 若 ワ ヤ 巻 取 方 向 う 形 状
超 硬 合 金 部 大 い う 思 わ . こ , ワ ヤ 放 電
加 工 時 送 大 い 場 合 や 込 大 い 場 合 生
現 象 あ , 今 回 放 電 条 件 こ 同 様 あ ,
こ う 結 果 っ た 不 明 あ . 部 こ
製 作 た 同 様 品 質 あ , 穴 加 工 実 験
差 支 え い 判 断 た .
加 工 穴 入 口 状 態 を 示 . た , こ 加
工 実 験 点 均 ッ ン 量 比 較 を 示 .
面 取 加 工 た を 用 い こ , 半 方 向 ッ ン
を 大 く 抑 制 こ , た , ッ ン 深 さ 浅
く 高 品 質 穴 得 た .
面 取 被 削 材 取 厚 さ
回 転 あ た 送 量 通 常
刃 面 取
刃 部
ゼ ッ
面 取 部
取 厚 さ
通 常 刃 部
取 厚 さ
穴 入 口 部 ッ ン 量
0 5 10 15 20 25 30 35
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100
穴
入
口
部
の
5
点
平
均
チ
ッ
ピ
ン
グ
量
m
加工穴個数 PD00ド によ 穴
PD02ド によ 穴
PD04ド によ 穴
PD20ド によ 穴
標準形状:振動無,1000min1,1.0 m/rev 標準形状:振動無,1000min1,0.1 m/rev 標準形状:振動有,1000min1,0.1 m/rev C面取 :振動無,1000min1,0.1 m/rev
ン 部 軸 方 向
µ µ µ µ µ µ µ µ µ µ µ µ
溝 部
面 取 加 工 た
穴 目
穴 入 口 状 態
穴 目 穴 目
µ µµ µ
穴 目
成 度 研究報告 大分県産業科学技術センター
機
計 測
機
機
計 測
計 測
機
計 測 を
を
を 用
を
用
用 い
用
い
い
い
超 精 密 金 型 部 品
超 精 密 金 型 部 品
超 精 密 金 型 部 品
超 精 密 金 型 部 品
高 効 率
高 効 率
高 効 率
高 効 率
削 加
削 加
削 加
削 加
技 術
技 術
技 術
技 術
研 究
研 究
研 究
研 究
― ― ―
― ニ ンニ ンニ ンニ ン セ ンセ ンセ ンセ ン 機機機機 計 測 機 能計 測 機 能計 測 機 能計 測 機 能 開 発開 発開 発開 発 第第第第 報報報報 ――――
大 塚 裕 俊 水 江 宏 秋 国 元 嶽 正 好 丸 山 祐 治
機 械 金 属 担 当 ㈱ ッ ㈱ e い
A A A A A A
要 旨
精 密 金 型 部 品 等 削 加 法 合 理 化 い 程 集 約 を 実 現 同 時 高 精 度 化 期 機 計 測
機 能 を 備 え ニ ン セ ン C 注 目 い 本 研 究 前 度 引 実 用 的 機 計 測 機 能 を 備 え
C 精 密 金 型 部 品 効 率 的 加 を 実 現 を 目 標 開 発 を 実 施 機 計 測 C
C 制 御 装 置 P C を 非 接 触 計 測 装 置 C 機 精 密 計 測 を 行 う あ 本 研
究 ハ ソ 開 発 調 整 加 物 対 計 測 機 能 検 証 を 実 施
1 . じ め に
精 密 金 型 部 品 等 削 加 法 合 理 化 い
程 集 約 を 実 現 同 時 高 精 度 化 期 機
計 測 機 能 を 備 え ニ ン セ ン C 注 目 い
複 雑 形 状 や 高 精 度 部 品 微 細 加 部 品 対
実 用 化 至 い い 本 研 究 μ
計 測 可 能 機 計 測 機 能 を 備 え 高 硬 度 材 料
い 同 程 度 高 精 度 加 を 可 能 C を 開 発
本 度 精 密 金 型 加 専 用 機 機 計 測 用
を 含 制 御 装 置 及 び 機 計 測
処 理 用 ソ を 含 要 素 精 密 金 型 加
調 整 改 良 を 行 わ ソ い 結
合 イ ン 構 築 機 能 的 操 作 性 を 機 計 測
用 ソ ア 開 発 整 備 を 主 行
記 精 密 金 型 加 穴 溝 段 差
基 本 形 状 加 え 2次 元 輪 郭 形 状 び 3 次 元 形 状
い 加 計 測 総 合 評 価 を 行
2 . シ ス テ ム 構 築 と イ ン タ フ ェ ー ス
前 述 要 素 各 種 イ ン や 専
用 接 加 専 用 機 動 作 情 報 や
位 置 情 報 び 制 御 指 や
時 位 置 情 報 を 互 い や 機 計
測 必 要 加 専 用 機 位 置 情 報
時 位 置 情 報 集 計 測 値
処 理 通 信 付 属
A Ⅱ 機 能 使 用 い
3 . 計 測 シ ス テ ム 機 能 改 良
計 測 機 能 改 良 昨 度 問 題
い 情 報 得 具 合 改 善 計 測 時
間 短 縮 び 計 測 精 度 向 い 問 題 解 決 を
情 報 得 具 合 い 専
用 を 追 加 A
光 量 セ ン 値 を 直 接 得 判 定 機 能
を 開 発 確 実 ッ 判 定 機 能 可 能
計 測 時 間 短 縮 い 粗 計 測 細 計 測 改 良
段 階 計 測 法 を 採 用 計 測 時 間 大 幅 短 縮
例 え ば 穴 計 測 計 測 時 間 前 方 法
比 較 約 加 え ッ 検 時 点 移
動 中 断 を 行 次 計 測 位 置 移 動 機 能 追 加 送
度 情 報 得 間 隔 パ 調 整 高 精 度
計 測 最 適 送 条 件 検 討 計 測 時 間
大 幅 短 縮
計 測 精 度 向 い キ
ン 方 向 計 測 中 心 へ 接 近 角 度 方 向 入
射 反 射 方 向 面 位 置 関 係 計 測 誤 差 生
を 補 正 手 法 を 開 発 対 象 物 あ
角 柱 を 接 触 式 計 測 装 置 ッ 計 測 結 果
成 度 研究報告 大分県産業科学技術センター
を 求 接 近 角 度 方 向 応 補 正 量 を ッ 計
測 適 用 あ
4 . 形 状 計 測 機 能
A A 力 加 具 パ
空 間 セ ッ 自 動 的 計 測 計 測
パ を 作 成 形 状 計 測 を 行 う 軸 機
計 測 機 能 開 発 拡 張 付
設 軸 機 構 加 物 傾 斜 を え 場
合 い 計 測 パ 傾 斜 回 転 を 幾 何 計 算 同 時
軸 軸 用 計 測 パ を 作 成
本 機 能 を 用 い 次 元 形 状 球 面 を 加 機 計
測 を 行 う 場 合 計 測 パ 作 成 例 を 示 淡 色
線 面 対 次 元 形 状 加 用
方 向 へ 削 あ ン 球 面
を 加 あ 本 機 能
自 動 的 計 測 パ を 生 成 結 果 同 中 濃 色 線 あ
方 向 キ ン 形 状 計 測 パ 生 成 い
わ 具 パ ッ 実 際 大 く い
加 物 を 軸 わ 回 転 加
物 付 軸 機 構 を
回 転 生 成 己 字 型 計 測 パ
を 右 濃 色 線 示 加 物 同 時 軸
軸 利 用 加 物 へ 傾 斜 角 付 場 合 対 応
計 測 用 パ 生 成 可 能 い わ
実 際 球 面 球 半 高 材 質
硬 度 を φ 超 硬 ン
仕 加 加 ッ 仕
をワンパ 機 計測 計測送 度
= 結 果 を 示 精 密 金 型
加 専 用 機 外 観 加 球 面 あ
次 元 形 状 い 誤 差 μ 形 状 計 測
来 当 初 目 標 値 を 達 成 い わ
5 . 輪 郭 計 測 機 能
時 計 用 精 密 小 型 金 型 閉 次
元 輪 郭 形 状 部 を 形 作 い う 幾 何 的 特 徴 多 く
見 輪 郭 形 状 精 度 高 い 加 求 い
輪 郭 形 状 計 測 輪 郭 各 点 ッ 検 連
計 測
本 機 能 え 次 元 輪 郭 形 状
自 動 的 輪 郭 各 点 ッ 検 一 連 計 測
パ を 生 成 あ 計 測 点 間 隔 ッ 助
走 距 離 び 隅 部 や 加 誤 差 大 く 具 パ 接
部 セ ッ 量 調 整 う い
実 際 金 型 輪 郭 形 状 あ わ 弧 直 線
形 状 い 本 機 能 を 用 い 例 を 示
形 状 A 生 成 計 測 パ あ
削 加 後 機 計 測 実 施 状 況 あ
輪 郭 形 状 計 測 パ う 付 加
的 ニ ュ ア 設 定 編 集 を 経 生 成
計 測 誤 差 加
計 測 パ
成 度 研究報告 大分県産業科学技術センター
得 計 測 結 果 を ~~~~ 示
直 線 部 や 弧 部 い 加 精 度 得 い
具 パ 接 部 や 狭 い 側 弧 部 加 誤 差
大 く い わ 作 機 械 運 動 精 度
問 題 や 局 部 削 抵 抗 ン 具 変 形
逃 い い 要 因 影 響 い 考 え
う 加 程 機 計 測 被 削 材 を 作 機 械
固 定 一 貫 精 度 評 価 行 え ば 修 正
加 必 要 場 合 容 易 行 う
μ
A
成 度 研究報告 大分県産業科学技術センター
6 . 高 さ 計 測 機 能
同 様 時 計 用 精 密 小 型 金 型
面 形 状 棚 田 状 構 成 い う 幾 何 的 特 徴
あ 各 部 高 計 測 求 多 い
計 測 各 面 部 高 計 測 連 動 作 処
理
高 計 測 単 位 要 素 あ 点 高 計 測 機
能 い 次 う 開 発 を 行 計 測 点 い
を 中 心 近 傍 点 計 測 を 行 い 均 値 を 算
点 計 測 計 測 物 表 面 状 況
終 了 信 号 得 い
場 合 あ 動 作 を 各
測 定 間 行 い 終 了 信 号 得 を 確 実
昨 度 高 計 測 機 能
信 号 終 了 信 号 得 確 実 く 誤 動 作 多
大 幅 改 善 う あ 点 近 傍
点 計 測 法 高 計 測 機 能 を 異 高
面 群 対 計 測 パ 例 移 動 パ を 除 く を
右 示
7 . 今 後 課 題
本 研 究 機 計 測 を 用 い 超 精 密 金 型 部
品 高 効 率 削 加 技 術 研 究 μm
計 測 可 能 実 用 的 機 計 測 機 能 を 備 え 高 精 度 加
を 可 能 精 密 金 型 加 を 開 発
精 密 金 型 部 品 高 精 度 加 可 能
総 合 評 価 加 計 測 計 測 精 度 1μm
確 保
研 究 課 題 本 研 究 用 い
計 測 非 接 触 計 測 あ 加 物 表 面 品 質 影 響 や
入 射 反 射 方 向 影 響 を や い
計 測 精 度 向 安 定 化 い 検 討 必 要 あ
加 え 一 層 計 測 時 間 短 縮 機 計 測 用 ソ ア
機 能 向 課 題 あ 計
測 微 小 形 状 計 測 可 能 あ 非 接 触 高 精 度
計 測 可 能 あ 加 物 形 状 優 位 性
高 い 本 研 究 事 例 適 用 範 大 い 考
え
今 後 加 物 傾 斜 角 付 計 測 機 能 や 修 正 加
技 術 確 立 開 発 精 密 金 型 加 を
中 心 技 術 展 開 い 検 討 い く 必 要 あ
8 . お わ り に
実 用 的 機 計 測 機 能 を 備 え C 精 密 金 型 部
品 効 率 的 加 技 術 い 研 究 開 発 を 実 施
次 結 果 を 得
精 密 金 型 加 専 用 機 及 び
精 密 金 型 加 調 整 改 良 を 結 合 イ ン
機 計 測 用 ソ ア 整 備 を 中 心 行
い 完 成 を
計 測 い 情 報 処 理
改 善 計 測 時 間 短 縮 び 計 測 精 度 向 面
機 能 改 良 を 行
計 測 主 機 能 形 状 計 測 機 能 輪 郭 計
測 機 能 び 高 計 測 機 能 あ 検 証 実
験 を 行 当 初 目 標 値 あ μ 計
測 精 度 を 達 成
追 記
本 研 究 成 度 戦 略 的 基 盤 技 術 高 度 化 支 援 事
業 実 施
A
成 度 研究報告 大 県産業科学技術センター
ネ シ ウ
ネ シ ウ
ネ シ ウ
ネ シ ウ
合 金
合 金
合 金
合 金
エ ン ド
エ ン ド
エ ン ド
エ ン ド
ル
ル
ル
ル 加 工
加 工
加 工
加 工
関
関
関
関
研 究
研 究
研 究
研 究
第
第
第
第
報
報
報
報
―――
― 多 軸 加 工多 軸 加 工多 軸 加 工多 軸 加 工 多 刃多 刃 エ ン ド多 刃多 刃エ ン ドエ ン ドエ ン ド ル 加 工 面ルルル加 工 面加 工 面加 工 面 高 精 度 化高 精 度 化高 精 度 化高 精 度 化 ――――
大 塚 裕 俊
機 械 金 属 担 当
A
A
A
A
C C C C CC C C
K A
要 旨
ネ シ ウ 合 金 エ ン ド ル 削 加 工 い 端 面 削 加 工 時 軸 方 向 込 量 削 抵 抗 変 動 大 く 関 係 適 軸 方 向 込 量 設 定 削 抵 抗 変 動 そ 起 因 加 工 形 状 誤 差 を 低 減 を 示 . 並 進 軸 以 外 傾 斜 軸 を 多 軸 工 作 機 械 を 利 用 被 削 材 傾 斜 を 与 え 適 軸 方 向 込 量 を 保 い う 手 法 加 工 精 度 向 上 可 能 を 実 証 実 験 示 .
1 . じ め に
近 軽 量 化 や 強 度 向 上 を 目 的 ネ シ ウ 合 金 利 用 増 え あ . ネ シ ウ 実 用 金 属 最 軽 く 強 度 剛 性 振 動 吸 収 性 優 材 料 あ エ ン ド ル 加 工 い 削 抵 抗 起 因 エ ン ド ル 倒 生 加 工 誤 差 要 因 . 一 般 エ ン ド ル 加 工 時 削 抵 抗 工 具 回 転 中 刃 数 変 動
滑 仕 上 面 を 得 困 難 あ . 特 多 刃 刃 を エ ン ド ル 被 削 材 を 同 時 削 刃 数 枚 以 上 多 く 加 工 端 面 く 形 状
加 工 誤 差 生 知 い .
多 刃 エ ン ド ル 側 面 加 工 被 削 材 刃 渉 部 幾 何 的 関 係 着 目 ば 被 削 材 を 削 中 刃 長 工 具 回 転 関 わ 常 一 定 軸 方 向 込 量 存 在 . そ 場 合 削 抵 抗 一 定 値
保 加 工 誤 差 発 生 減 少 加 工 精 度 向 上 考 え . そ 本 研 究 軸 方 向 込 量 A 削 抵 抗 加 工 面 形 状 精 度 向 上 条 件 を 考 察 う え 多 軸 工 作 機 械 並 進 軸 傾 斜 軸
い 被 削 材 傾 斜 を 与 え 方 法 を 適 用
削 抵 抗 を 一 定 化 加 工 精 度 向 上 を 示 .
2 . エ ン ド ミ ル 削 関 与 刃 長 と 削 抵 抗
エ ン ド ル 側 面 加 工 時 被 削 材 対 法 線 方 向 方 向 削 抵 抗 成 被 削 材 加 工 誤 差 量 を 求
エ ン ド ル や 工 具 ホ ル を 含 主 軸 系 を 片 持
梁 デ ル 化 .
削 抵 抗 負 荷 点 刃 部 軸 方 向 込 量 A 範 を 回 転 主 軸 方 向 方 向 移 動
削 点 移 動 片 持 梁 わ 量 変 化 側 面 加 工 形 状 を 予 測 評 価 . 用 い エ ン ド ル 直 角 ° 刃 ピ ッ °
枚 刃 あ 求 回 転 角 削 関 与 刃 長 変 化 い 示 . い 削 関 与 刃 長 合 計 削 抵 抗 比 例
ば 近 似 化 削 抵 抗 波 形 相 似 関 係 . 各 線 各 々 標 記 軸 方 向 込 量 A 対 応 い . ば 軸 方 向 込 量 A
整 数 倍 回 転 角 関 与 刃 長 一 定 わ . 軸 方 向 込 量 実 験 を 行 え ば 発 生 削 抵 抗 回 転 変 動 を 低 減
成 度 研究報告 大 県産業科学技術センター
3 . 検 証 実 験 と 結 果
検 証 実 験 軸 方 向 込 量 を パ ラ 削 を 行 う 厚 軸 方 向 込 量 等 く う 被 削 材 を 利 用 .
軸 方 向 込 量A =
ス い ネ シ ウ 合 金 A を 被 削 材 直 線 端 面 加 工 を 行 い 削 抵 抗 値 端 面 軸 方 向 加 工 形 状 を 測 定 . 実 験 条 件 を 示 .
削抵抗 測 定値 比較 を 示 . 板厚
= 以 上 削 抵 抗 変 動 一
方 板 厚 = 削 回 転 振 変 動 刃 大 変 動 い . 片 持 梁 デ ル 基 く 軸 方 向 わ 量 解 析 結 果 被 削 材 形 状 測 定 結 果 比 較 を 示 . 両 者 形 状 く 近 似 そ 形 状 大
板 厚 = 約 半 軽 減 い わ . 削 抵 抗 変 動 を 抑 え 加 工 形 状 を 小 く わ . 方 向 工 具 送 方 向
4 . 傾 斜 角 付 与 に よ 実 験 結 果
以 上 結 果 を 用 い ば 多 軸 工 作 機 械 並 進 軸 傾 斜 軸 を 利 用 ば 通 常 削 抵 抗 一 定
い 軸 方 向 込 量 条 件 対 被 削 材 傾 斜 を 与 え 適 軸 方 向 込 量 加 工 精 度 向 上 期 . 例 板 厚 = 場 合 そ 傾 斜 角 θ = ° を 与 え 実 軸 方 向 込 量 ’ を 削 抵 抗 一 定 化 条 件 等 く 削 場 合 削 抵 抗 値 被 削 材 形 状 測 定 結 果 を ~~~~ 示 . ば
~ 比 較 同 程 度 削 抵 抗 変 動 や 形 状 精 度 改 善 い わ .
C
C C φ
°
A A % %
A
’
θ θ = ° =
θ = ° ’ =
=
=
A μ
C
成 度 研究報告 大 県産業科学技術センター
5 . お わ に
ネ シ ウ 合 金 エ ン ド ル 加 工 端 面 削 加 工 い 軸 方 向 込 量 適 設 定 削 抵 抗 抑 制 形 状 精 度 向 上 可 能 わ .
多 軸 工 作 機 械 並 進 軸 傾 斜 軸 を 利 用 被 削 材 傾 斜 を 与 え 適 軸 方 向 込 量 を 保 い う 手 法 形 状 精 度 向 上 実 現 わ .
A
’
θ
μ
μ
成 度 研究報告 大分県産業科学技術センター
製 造
製 造
製 造
製 造
イ ン
イ ン 用
イ ン
イ ン
用
用
用
イ ン
イ ン
イ ン
イ ン
軽 量 ウ エ ハ
軽 量
軽 量
軽 量
ウ エ ハ
ウ エ ハ
ウ エ ハ
ン
ン
ン
ン
開 発
開 発
開 発
開 発
清 水 慎 吾 大 塚 裕 俊 坂 本 憲 一 朗
機 械 ・ 金 属 担 当 株 大 川 金 型 設 計 事 務 所
Z
要 旨
プ 製 造 け 後 工 程 使 用 さ イ ン 用 搬 送 ン ウ エ ハ ン い , 現 主 流
い イ ン 用 ウ エ ハ ン 運 搬 減 少 , 軽 量 ウ エ ハ ン 開 発 半 導 体 業 界 ニ 存
, 株 大 川 金 型 軽 量 ウ エ ハ ン 開 発 試 作 以 前 取 組 い . 一 方 ウ エ ハ ン 場 流 通
対 国 際 規 格 基 準 満 強 度 や 坦 度 品 質 要 求 さ , 軽 量 化 伴 う 強 度 等 課 題 存 .
本 研 究 , 大 県 研 究 開 発 補 助 事 業 , 半 導 体 設 備 関 国 際 基 準 満
イ ン 用 軽 量 ウ エ ハ ン 開 発 行 .
1 . じ め に
プ 製 造 工 程 , ン ウ エ ハ プ 形
成 前 工 程 , プ 出 半 導 体 工 後 工
程 大 く 段 階 け . ウ エ ハ プ 出
イ ン 工 程 中 , ウ エ ハ ウ エ ハ ン 固 定
さ , 従 来 使 用 さ い ウ エ ハ 直 径 イ ン
主 流 あ 対 , 価 格 競 争 激 い 半 導 体 業 界
大 口 径 イ ン ウ エ ハ 主 流 い . こ
、 ウ エ ハ サ イ 大 け ば 一 度 取 プ 数
多 く 、 プ 単 価 あ . そ 伴 い ウ
エ ハ ン 重 量 化 運 搬 増 大 課 題
, 軽 量 ウ エ ハ ン 開 発 半 導 体 メ カ ニ
存 い .
本 研 究 , 半 導 体 設 備 関 国 際 基 準
い 要 求 さ 品 質 満 軽 量 ウ エ ハ
ン 開 発 行 .
2 . 軽 量 ウ エ ハ ー リ ン グ 仕 様
現 行 品 及 び 軽 量 ウ エ ハ ン 仕 様 示
. 現 行 ウ エ ハ ン テ ン 打 抜 材 使 用 さ
い . 本 研 究 以 前 試 作 品 , 薄 板 間 樹 脂 ン
中 空 鉄 球 挟 サ ン イ 型 構 造 軽 量 ウ エ ハ
ン 作 製 い . 本 研 究 け 開 発 製 品 , 薄 肉
テ ン 材 パ 形 プ 絞 工 後 接
着 塗 嵌 合 わ , 中 空 構 造 こ 軽 量
化 図 い . 要 求 さ 強 度 満 , 中 心
金 属 中 間 ン 取 付 け 構 造 あ .
ウ エ ハ ン 仕 様 比 較 図
形 状断 面 厚 さ 重 量
現 行 品
旧 試 作 品
サ ン イ 型
開 発 製 品
嵌 合 型
3 . 軽 量 ウ エ ハ ー リ ン グ 次 試 作 品 評 価
軽 量 ウ エ ハ ン 次 試 作 品 い , パ
及 び 中 間 ン 間 塗 接 着 種 類 , 中 間 ン
有 無 影 響 比 較 検 討 , 企 画 基 い 強
度 及 び 坦 度 評 価 試 験 行 . 強 度 カ 状 治
具 ン 固 定 直 径 引 出 , 端
荷 重 間 与 え 後 除 荷 , 接 着 離 音 や
以 反 や 塑 性 歪 生 い 確 認 .
坦 度 定 盤 置 い ン 面 高 さ 測 定 ,
そ 公 差 以 内 あ ば 合 格 .
サ ン イ 型 構 造 ウ エ ハ ン い , 比 較
同 様 評 価 試 験 行 . 試 験 様 子 ,
成 度 研究報告 大分県産業科学技術センター
サ ン イ 構 造 試 作 品
塑 性 歪 生 試 作 品 中 間 ン 無 試 作 品
強 度 試 験
坦 度 試 験
次 試 作 品 評 価 試 験 結 果
接 着 中 間 ン
坦 度 除 荷 後
変
離 音
金 属 無
金 属 無
金 属 無
無 変 形 無
金 属 無
金 属 無
樹 脂 有
樹 脂 変 形 有
樹 脂 有
結 果 , 坦 度 い 基 準 安 定
ア サ ン プ 無 . 金 属 中 間 ン 接 着
利 用 試 作 品 , そ 強 度 い 規 格 既 ア
, 中 間 ン 用 い 試 作 品 や 樹 脂 ン
用 い 試 作 品 い , 強 度 試 験 時 接 着 離 音
い 塑 性 歪 発 生 い こ , 軽 量 化 サ ン イ
型 構 造 く 金 属 中 間 ン 用 い 嵌 合 型 構
造 適 い こ 確 認 . 変 形 様 子 示
. 接 着 用 い 試 作 品 接 着 用 い 試
作 品 比 較 , 荷 重 除 荷 後 坦 度 変 化 少
. 金 属 中 間 ン 接 着 用 い 試 作 品 ポ
イ ン 絞 , 坦 度 規 格 満 改 善 行 う 方 針 決
定 , 次 試 作 行 .
4 . 軽 量 ウ エ ハ ー リ ン グ 次 試 作
次 試 作 品 坦 度 向 い , 点 改 善 行
. 点 目 , 嵌 合 型 構 造 ウ エ ハ ン い
, 嵌 合 前 パ パ 形 プ 絞 工 行
う . そ 際 パ 鞍 状 変 形 生 ,
坦 ン 状 無 く , 嵌 合 い 坦 ン 状
矯 正 さ , こ こ 坦 度 悪 影 響 及 ぼ
い 可 能 性 有 . そ こ プ 絞 工 工 程 後 パ
鞍 状 変 形 矯 正 プ 工 程 え こ , 嵌
合 前 パ 変 形 減 少 さ , 坦 近 い 状 態
嵌 合 行 う こ .
点 目 , パ 嵌 合 際 板 状 治 具
接 着 塗 パ 中 間 ン 挟 ,
嵌 合 行 う , こ 時 パ 厳 密 坦 い
均 等 さ , 接 着 面 及 び 嵌 合 生
い 可 能 性 有 . 完 成 品 ウ エ ハ ン 同 形 状
成 度 研究報告 大分県産業科学技術センター
後 行 .
以 改 善 行 次 試 作 品 ~ い , 隙 間
用 い 坦 度 評 価 試 験 結 果 示 . 結
果 , 次 試 作 品 全 規 格 要 求 坦 度 満
い こ わ . ウ エ ハ ン 重 量 全 サ ン プ
い 以 あ , % 重 量 削 減 成 .
次 試 作 品 評 価 試 験 結 果
坦 度 判 定
合 格
合 格
合 格
合 格
合 格
5 . ま と め
製 造 イ ン 用 イ ン 軽 量 ウ エ ハ ン 開 発
い , 以 結 果 得 .
従 来 製 品 重 量 対 , 開 発 ウ エ ハ ン
重 量 あ , % 軽 量 化 成 .
開 発 ウ エ ハ ン , 場 流 通 必 要 強 度 ・
坦 度 等 国 際 規 格 基 準 満 い .
追 記
本 研 究 , 成 度 大 県 L S I 研 究 開 発
成 度 研究報告 大分県産業科学技術センター
各 種
各 種
各 種
各 種 難 燃 性
難 燃 性
難 燃 性
難 燃 性
シ ウ
シ ウ
シ ウ
シ ウ
金 鋳 造 材
金 鋳 造 材
金 鋳 造 材
金 鋳 造 材
材 料 特 性
材 料 特 性
材 料 特 性
材 料 特 性
― ― ―
― 難 燃 性難 燃 性難 燃 性難 燃 性 シ ウシ ウシ ウシ ウ 金金金金 溶 解溶 解溶 解溶 解 鋳 造 技 術鋳 造 技 術鋳 造 技 術鋳 造 技 術 高 度 化高 度 化高 度 化高 度 化 関関関関 研 究研 究研 究研 究 ――――
園 田 正 樹 高 橋 芳 朗 宮 原 広 郁
機 械 金 属 担 当 九 州 大 学 大 学 院 学 研 究 院
y
y
y
y
― ――
― y y y y yyyy
y y y
要 旨
溶 解 過 程 け 難 燃 性 シ ウ 金 溶 湯 清 浄 化 方 法 検 証 行 う 鋳 造
信 頼 性 向 や 鋳 造 及 び 熱 処 理 条 件 設 定 要 各 種 難 燃 性 シ ウ 金 熱 物 性
値 及 び 凝 固 過 程 け 金 属 組 織 変 化 調 査 し 清 浄 化 効 果 基 準 し 溶 湯 中 水 素 注 目 し 析 し 結 果 金 溶 湯 中 水 素 清 浄 化 過 程 経 後 溶 解 温 度 昇 伴 い 増 加
金 及 び 金 熱 析 曲 線 測 定 し α 相 α 共 晶 組 織 晶 出 温 度
急 冷 凝 固 実 験 凝 固 過 程 固 相 率 変 化 測 定 し 金 液 相 線 温 度
近 傍 大 部 凝 固 進 傾 向 確 認 金 比 金 及 び 金 凝 固 完 了 直 前
温 度 対 し 固 相 率 増 加 遅 く
1 . じ め に
シ ウ 金 以 金 実 用 構
造 金 属 材 料 中 最 軽 く ウ 約 鉄 約
比 強 度 制 振 性 耐 く 性 削 性 電 磁
波 遮 蔽 性 性 等 優 い 携 帯 電 話
や ソ ン 等 電 子 機 器 筐 体 材 料 し 利 用 鉄 車 両 自 動 車 ッ ト 等 輸 送 機 器 や 産 業 機 器 構 造
材 料 し 注 目 い し し 金 耐 食 性
常 温 塑 性 加 性 等 劣 燃 え や い い う 欠 点 課 題
い
一 方 難 燃 性 金 独 立 行 政 法 人 産 業 技 術 総
研 究 所 九 州 ン タ 旧 業 技 術 院 九 州 業 技 術 研 究
所 開 発 金 汎 用 金 シ ウ ~
% 以 添 加 し 発 火 温 度 ~ 昇 金 あ 溶 解 時 防 燃 用 遮 蔽 し 地 球 温 暖 化
あ ッ 化 硫 黄 使 用 大 気 中 溶 解 可 能 環 境 優 し い 金 し 注 目 い
燃 え く い い う 特 徴 活 し 社 団 法 人 日 本 鉄 車 両 機 械 技 術 協 会 車 両 材 料 燃 焼 試 験 い 燃
材 認 定 け い 鉄 車 両 用 部 材 適
用 検 討 い
々 う 特 徴 活 し 九 州 大 学 中 心 し 地 域 新 生 ン ソ シ 研 究 開 発 業 難 燃 性 金
高 機 能 組 織 制 御 鉄 車 両 用 部 材 開 発 中 鋳
造 活 用 し 難 燃 性 金 砂 型 鋳 物 適 用 い 研 究 進
~
し し 果 商
品 化 や 業 化 結 び け 新 鉄 車 両 用 部 材 展
開 自 動 車 ッ ト 等 新 産 業 展 開
い く 課 題 残 い
度 実 施 し い 九 州 業 系 設
試 連 携 共 研 究 金 関 研 究 担 課 題 難 燃 性 金 溶 解 鋳 造 技 術 高 度 化 関 研 究
中 地 域 新 生 ン ソ シ 研 究 開 発 業 補 完 研 究 兼 地 場 企 業 技 術 移 転 可 能 多 品 種 少 生
産 適 し 難 燃 性 金 溶 解 鋳 造 技 術 確 立 等
課 題 組 い
本 度 溶 解 過 程 け 難 燃 性 金 溶 湯 清 浄 化 方 法 検 証 行 う 鋳 造 信 頼 性 向
や 鋳 造 及 び 熱 処 理 条 件 設 定 要 各 種 難 燃 性 金 熱 物 性 値 及 び 凝 固 過 程 け 金 属 組 織
変 化 調 査 し
2 . 実 験 方 法
2 . 1 本 研 究 供 試 材
本 研 究 用 い 各 種 難 燃 性 金 化 学
成 度 研究報告 大分県産業科学技術センター
誘 溶 解 炉 用 い 大 気 中 溶 解 各 種 実
験 用 試 験 得
各 種 難 燃 性 金 化 学
化 学 %
金
A l Z n M n C a M g
9 . 3 0 . 6 7 0 . 2 4 2 . 1 残 部
2 . 9 1 . 0 8 0 . 2 6 2 . 1 残 部
6 . 3 < 0 . 0 1 0 . 3 2 2 . 1 残 部
2 . 2 溶 解 過 程 に お け る 溶 湯 清 浄 化 方 法 検 証
金 溶 湯 含 水 素 や 酸 化 物 等 鋳 造 品 中
シ テ や 物 等 鋳 造 欠 発 生 原 因
6
良 質 鋳 造 品 得 対 策 し 溶 湯 清
浄 化 要 あ 物 い 溶 湯 清 浄 化
十 場 湯 口 等 タ 設 け
去 可 能 あ 水 素 い 難 し い 現 状 あ 溶 解 各 種 清 浄 化 過 程 経 注 湯 至
溶 湯 中 水 素 注 目 し 析 し 回
金 対 象 し 及 び 示 清 浄 化
方 法 い 検 証 し 示 方 法 溶 湯 温 度 い 溶 解 溶 湯 減 チ ャ ン
設 置 し 約 減 間 保 持 し 酸 化 物 等 去 し 清 浄 化 方 法 以 タ ン
あ 示 方 法 溶 湯 温 度 い テ ン
製 端 流 約 ℓ ン
間 溶 湯 中 吹 込 後 約 減
間 保 持 し 酸 化 物 等 去 し 清 浄 化 方 法 以
タ ン あ 及 び 中 示 ~
及 び ~ 溶 湯 清 浄 化 過 程 各 時 点 け 溶
湯 示 水 素 析 試 験 用 金 型 注 湯 し 中 心 軸 対 称 × × 直 方 体 採 し 水 素
析 試 験 し 得 試 験 水 素 真 空
加 熱 融 解 定 容 測 法 析 し
減 保 持 溶 湯 清 浄 化 方 法 タ ン
ン 吹 込 減 保 持 組
わ 溶 湯 清 浄 化 方 法 タ ン
水 素 析 試 験 用 金 型 水 素 析 試
験 採 置 右 : 斜 線 部 採
2 . 3 熱 物 性 値 測 定
液 相 線 温 度 固 相 線 温 度 固 液 共 存 領 域 け 晶 出
相 生 温 度 等 熱 物 性 値 調 回
金 及 び 金 熱 析 曲 線 測 定 行
偏 析 影 響 避 け 銅 製 金 型 タ ン 清
浄 化 し 溶 湯 注 湯 し φ × 柱 状
ン ッ ト 作 製 し 示 う 中 心 軸 対 称
× × 直 方 体 採 し 熱 析 曲 線 測 定 用 試 験 し
熱 析 曲 線 測 定 用 試 験 急 冷 凝 固 実 験 用
試 験 採 置
得 熱 析 曲 線 測 定 用 試 験 雰 気 制 御 型 シ
成 度 研究報告 大分県産業科学技術センター
示 ト タ ン 昇 温 し 溶 解 し 後
度 冷 却 し 熱 析 曲 線 測 定 し
熱 析 曲 線 測 定 ト タ ン
2 . 4 凝 固 過 程 に お け る 金 属 組 織 変 化 調 査
難 燃 性 金 凝 固 過 程 け 金 属 組 織 変 化 調
固 液 共 存 領 域 け 各 温 度 急 冷 凝 固 実 験 行 い 各 温 度 け 衡 状 態 金 属 組 織 観 察 し
回 金 及 び 金 金 属 組 織 変
化 調 査 し
偏 析 影 響 避 け 銅 製 金 型 タ ン 清 浄 化 し 溶 湯 注 湯 し 前 述 柱 状 ン ッ ト
作 製 し う 中 心 軸 対 称 × × 直
方 体 採 し 急 冷 凝 固 実 験 用 試 験 し
得 急 冷 凝 固 実 験 用 試 験 黒 鉛 入 横 型 電 気 炉 設 置 し ン 雰 気 中
示 ト タ ン 昇 温 し 溶 解 し
後 度 示 各 温 度 冷 却 し
時 間 保 持 し 金 属 組 織 衡 状 態 し 後 水 中 投 入 急 冷 し 各 温 度 け 衡 状 態 金 属 組 織 観 察
試 験 作 製 し 試 験 % タ
溶 液 腐 食 し 学 顕 微 鏡 観 察 し 固 相 晶 出 状
況 や 面 積 率 測 定 し
急 冷 凝 固 実 験 ト タ ン
急 冷 前 保 持 温 度
急 冷 前 保 持 温 度 金
○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○
○ ○ ○ ○ ○ ○ ○
3 . 実 験 結 果 及 び 考 察
3 . 1 溶 解 過 程 に お け る 溶 湯 清 浄 化 方 法 検 証
及 び 各 溶 湯 清 浄 化 方 法 各 時 点
け 水 素 び 到 直 後 水 素
比 較 し 各 時 点 け 水 素 増 減 比 示
各 時 点 水 素 タ ン
採 時 水 素 水 素
増 減 比 %
到 直 後
減 保 持 酸 化 物 等 去 後
到 直 後
保 持 後
各 時 点 水 素 タ ン
採 時 水 素 水 素
増 減 比 %
到 直 後
ン 吹 込 後
減 保 持 酸 化 物 等 去 後
到 直 後
タ ン 比 タ ン 方 減 保 持
酸 化 物 等 去 直 後 水 素 い 増 減 比
方 法 水 素 去 効 果 程 度 あ 溶 湯 温 度
昇 温 間 方 法 水 素 再
び 増 加 し い 純 溶 湯 含 水 素 溶 湯
温 度 昇 増 加 金 溶 湯
様 傾 向 示 確 認
減 保 持 溶 湯 清 浄 化 間 溶 湯 温 度
実 際 製 品 鋳 造 際 良 好 流 動 性 得 注 湯 温 度 溶 湯 再 加 熱 可 欠 あ し
し 回 結 果 う 温 度 昇
水 素 増 加 清 浄 溶 湯 保
注 湯 温 度 必 要 最 限 流 動 性 得 温 度 抑 え
く 要 あ
実 際 鋳 造 現 場 い 複 数 個 鋳 型 注 湯 行 う 等 溶 湯 温 度 一 定 時 間 保 必 要 あ 一 方
結 果 溶 湯 温 度 保 持 し い
間 水 素 大 変 化 い 溶 湯
成 度 研究報告 大分県産業科学技術センター
考 え
3 . 2 熱 物 性 値 測 定
金 及 び 金 熱 析 曲 線
及 び 示 金 及 び 金
凝 固 開 始 し 相 変
態 起 い 確 認
金 熱 析 曲 線
金 熱 析 曲 線
相 変 態 温 度 け 晶 出 相 確 認
金 及 び 金 急 冷 し
金 属 組 織 中 α 共 晶 組 織 確 認
及 び し 相 変 態 温 度 け
晶 出 相 α 共 晶 組 織 あ 考 え
以 結 果 金 熱 物 性 値 含 各
種 難 燃 性 金 熱 物 性 値 整 理 し
し 金 確 認 い α
共 晶 組 織 晶 出 温 度 金 及 び 金
確 認 金 中 ウ
シ ウ 生 金
ウ 含 有 少 い 金 及 び 金
場 相 生 ウ 足 生
し 熱 析 曲 線 変 極 点 確 認 い 生
少 い 考 え
金 急 冷 し 金 属 組 織
金 急 冷 し 金 属 組 織
各 種 難 燃 性 金 熱 物 性 値
金 α
晶 出 温 度 晶 出 温 度 晶 出 温 度
3 . 3 凝 固 過 程 に お け る 金 属 組 織 変 化 調 査
及 び 示 う 金 い
急 冷 し 金 属 組 織 α 相 晶 出 確 認
温 度 伴 い α 相 長 し い 確 認
様 金 い 急 冷 し
金 属 組 織 α 相 晶 出 確 認 様 温 度
伴 い α 相 長 し い 確 認 傾
向 金 属 組 織 中 占 固 相 面 積 率 固 相 率 し 各 温 度 け 固 相 率 変 化 調 査 し
金 及 び 金 各 温 度
け 固 相 率 変 化 示 結 果 金
成 度 研究報告 大分県産業科学技術センター
金 急 冷 し 金 属 組 織
金 急 冷 し 金 属 組 織
金 及 び 金 温 度 固 相 率 曲
線 実 験 値
々 使 用 し い 鋳 造 株 製
あ 凝 固 過 程 け 固 相 率 増 加 シ ュ
シ ョ ン 式 示 温 度 固 相 率 関 係 式 用 い い
: 固 相 率 時 温 度 : 固 相 線 温 度 : 液 相 線 温 度 : 固 相 率 : 凝 固 指 数
凝 固 指 数 金 属 物 性 値 し 扱 わ シ ュ シ ョ ン
い 時 温 度 固 相 率 曲 線 右 凸 液 相
線 温 度 近 傍 大 部 凝 固 進 時
温 度 固 相 率 曲 線 凸 固 相 線 温 度 近 い
大 部 凝 固 進 し 結 果
金 及 び 金 凝 固 指 数 未 満 あ
及 び 式 未 満 値 複 数 個 代
入 し 計 算 し 金 及 び 金 温 度
固 相 率 曲 線 計 算 値 実 際 測 定 し 温 度 固 相 率 曲 線 実 験 値 比 較 し あ 凝 固 過 程 全 体 比
破 線 示 実 験 値 形 状 最 相 似 し い 計 算
値 金 場 時 あ
金 場 時 あ 値
金 凝 固 指 数 し
示 金 実 験 値 固 相 率 以
凝 固 完 了 直 前 固 相 率 増 加 遅 く 計 算 値
大 く い 既 報
金 実 験 値 金 実 験 値 比 較 し
あ 実 線 示 金 凝 固 指 数
未 満 あ 凝 固 完 了 直 前 固 相 率 増 加 遅 く
い 一 方 示 金 場
う 挙 動 示 い 金 中 亜 鉛 影 響 え
い い 考 え
金 温 度 固 相 率 曲 線 け 実 験 値 計 算 値 比 較
成 度 研究報告 大分県産業科学技術センター
金 及 び 金 温 度 固 相 率 曲 線 実 験 値
4 . ま と め
難 燃 性 金 溶 湯 清 浄 化 方 法 検 証 熱 物 性 値 及 び 凝 固 過 程 け 金 属 組 織 変 化 い 調 査 行 い
以 結 果 得
金 溶 湯 い 減 保 持 用 い 清 浄 化
方 法 ン 吹 込 減 保 持 組 わ
清 浄 化 方 法 水 素 減 比 約
%約 % あ 明 確 差 い
金 溶 湯 中 水 素 溶 解 温 度 昇
伴 い 増 加 経 時 変 化 い
金 及 び 金 α 相 晶 出 温 度
あ
金 及 び 金 α 共 晶 組
織 晶 出 温 度 あ
金 液 相 線 温 度 近 傍
大 部 凝 固 進 凝 固 形 態 示
金 比 金 及 び 金 凝 固
完 了 直 前 温 度 対 し 固 相 率 増 加 遅 く
追 記
本 研 究 進 あ 使 用 し 自 動 研 磨 装 置 エ ッ
ト ト ッ ト プ 金 属 顕 微 鏡 財 団 法
人 補 助 金 け 設 置 し あ 追 記 し
謝 辞
本 研 究 進 あ 熱 析 曲 線 測 定 い 御 指 御 助 言 御 協 力 頂 し 九 州 大 学 大 学 院 学 研
究 院 宮 原 研 究 室 皆 様 謝 意 表 し
参 考 文 献
英 俊 : シ ウ 金 難 燃 化 応 用 技 術
田 : 難 燃 性 シ ウ 金 押 出 製 品 近 畿
車 輛 技 報 第 号
園 田 正 樹 松 研 一 瀬 戸 一 郎 : ン ュ タ シ ュ
シ ョ ン 解 析 利 用 し 難 燃 性 シ ウ 金 砂
型 鋳 造 適 用 関 研 究 度 大 県
産 業 科 学 技 術 ン タ 研 究 報 告
園 田 正 樹 高 橋 芳 朗 松 研 一 瀬 戸 一 郎 : ン ュ
タ シ ュ シ ョ ン 解 析 利 用 し 難 燃 性 シ ウ 金 砂 型 鋳 造 適 用 関 研 究
度 大 県 産 業 科 学 技 術 ン タ 研 究 報 告 高 橋 芳 朗 : 難 燃 性 シ ウ 金 砂 型 鋳 物 設 計
支 援 試 作 大 県 産 業 科 学 技 術 ン タ ュ 号
シ ウ 技 術 便 覧 : 日 本 シ ウ 協 会 編 出
シ ウ 技 術 便 覧 : 日 本 シ ウ 協 会 編 出
宮 原 広 郁 : 難 燃 性 鋳 造 用 金 凝 固 組 織 及 添 加 元 素 影 響 第 回 高 性 能 金 創 加
研 究 会 講 演 概 要 集
園 田 正 樹 高 橋 芳 朗 宮 原 広 郁 : 難 燃 性 シ ウ
成 度 研究報告 大分県産業科学技術センタ
高 効 率 太 陽 電
高 効 率 太 陽 電
高 効 率 太 陽 電
高 効 率 太 陽 電
開 発
開 発
開 発
開 発
― ――
― コ ンコ ン 基 板 洗コ ンコ ン基 板 洗基 板 洗基 板 洗 解 析解解解析析 ―析―― ―
田 善 昭 安 部 ゆ 宮 信 治
工 業 化 学 担 当
要 旨
テ 生 成 ニ 解 明 テ ッ 頂 点 析
試 結 果 他 部 同 頂 点 主 成 S じ , ( , O あ 頂 点 特 有 元 素 検 さ
表 面 (濃 度 O濃 度 共 頂 点 側 面 順 こ 傾 向 有 機 物 あ 可 能 性 示
唆 い 新 基 板 洗 法 ン 得 種 類 有 機 溶 媒 基 板 洗 洗 効 果 い = P S
評 価 結 果 基 板 洗 (除 去 率 溶 媒A 順
じめに
化石燃料 代わ 新 開発 緊急 課題
あ 太陽光発電 最 実現性 高い新
一 期待さ い 太陽光発電 効
率 い 単結晶型 15 - 1重 % いう問題点 あ
太陽光発電 高効率化 世界中 研究者 削
い ッ 研究課題 あ
太陽光発電 効率 原因 一 反射 あ
コン結晶系太陽電 単結晶 多結晶 表面 平
坦 入射光 約 1/」 反射 変換 い
周囲 発散 い 大 損失 反射損失
生 い こ 反射損失 減 太陽光発電 高効
率化 技術 光閉 込 技術 呼
コン太陽電 表面 ッ ン 液 処理
テ 形成 こ 反射 抑
制 技術 既 開発さ い
単結晶 コン基板 例え 溶液 使
結晶異方性 ッ ン 処理 平坦 ッ ン
面 所々 ッ 形 構造体 形成さ こ 構
造体 ッ 呼
ッ 構造 ! 示
ッ 形成 ッ ン 結晶異方性
起因 例え "!##$面 溶液 ッ ン
通常 ッ ン "!##$面 垂直方向 進行
結 晶 面 ッ ン 度 異 "!##$
%%"!!!$ 平坦 ッ ン 面 "!##$ 所々
"!!!$面 溶 け残 溶け残 "!!!$面 形成 構
造体 ッ あ
テ 処理 手法的 い ン
ッ ッ ン あ テ 最小単
ッ あ テ
ッ 集合体 あ
° ° ° ° ° ° ° ° 面 面面 面
面 面 面 面
イクロ スク
イクロ スク
イクロ スク
イクロ スク
° ° ° ° ° ° ° ° 面 面面 面
面 面 面 面
イクロ スク
イクロ スク
イクロ スク
イクロ スク
!& ッ 構造